제1장(Chapter 1) 연구개발과제의 개요(Overview) = 17
제2장(Chapter 2) 광학 측정장비 요소기술 개발(Development of advanced instruments for optical measurements) = 20
제1절(Section 1) 대구경 비구면 평가기술 개발(Development of evaluation technology for large aspheric optics) = 20
제2절(Section 2) 비등방성 시료 편광기반 나노측정 기술 개발(Ellipsometric metrology for anisotropic samples) = 53
참고문헌(References) = 80
제3장(Chapter 3) 하전입자 측정장비 요소기술 개발(Development of advanced instruments using charged particles) = 82
제1절(Section 1) 전자광학 요소기술 개발(Development of key technologies for electron beam optics) = 82
제2절(Section 2) 이온광학 요소기술 개발(Development of key technologies for ion optics) = 115
제3절(Section 3) 나노자성 이미징기술 개발(Development of instrumentation for spin imaging and dynamics) = 132
제4절(Section 4) 정밀 시편이동 요소기술 개발(Development of core technology for precise specimen movement) = 153
참고문헌(References) = 165
제4장(Chapter 4) 탐침 측정장비 요소기술 개발(Development of advanced instruments using intelligent probes) = 166
제1절(Section 1) xAFM 개발(Development of cross-sectional AFM) = 166
제2절(Section 2) 생분자 분광 미세검출 요소기술 개발(A)(Ultrasensitive Spectral Detection of Biomolecular Activity) = 186
제3절(Section 3) 분광이미징 핵심요소기술 개발(Development of core technology for the scanner of SPM) = 195
제4절(Section 4) 생분자 분광 미세검출 요소기술 개발(B)(Near-field measurments of bio-molecular acticity, luminescence, force) = 217
참고문헌(References) = 226
제5장(Chapter 5) 결론(Conclusions) = 228
