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첨단측정장비 핵심요소기술 개발

첨단측정장비 핵심요소기술 개발

자료유형
단행본
개인저자
안상정, 연구책임 김윤중, 연구책임 김달현, 연구 김영식, 연구 김원동, 연구 김주황, 연구
단체저자명
한국표준과학연구원, 연구기관
서명 / 저자사항
첨단측정장비 핵심요소기술 개발 = Development of core technology for advanced instruments / 안상정 연구책임 ; 김달현 [외] 연구 ; 한국표준과학연구원 연구기관 ; 경희대학교, 한남대학교 위탁연구기관 ; 김윤중 [외] 협동연구책임 ; 한국기초과학연구원 [외] 협동연구기관
발행사항
[대전] :   한국표준과학연구원,   2011  
형태사항
230 p. : 삽화 ; 30 cm
일반주기
단계: 3차년도/1단계(3년)  
연구사업명: 한국표준과학연구원 주요사업  
대과제명: 첨단산업 측정기술 개발  
연구: 김영식, 김원동, 김주황 외 20인  
서지주기
참고문헌 수록
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700 1 ▼a 안상정, ▼e 연구책임
700 1 ▼a 김윤중, ▼e 연구책임
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740 2 ▼a 첨단산업 측정기술 개발
945 ▼a KLPA

소장정보

No. 소장처 청구기호 등록번호 도서상태 반납예정일 예약 서비스
No. 1 소장처 과학도서관/Sci-Info(1층서고)/ 청구기호 620.00440284 2010 2011 등록번호 121216890 도서상태 대출가능 반납예정일 예약 서비스 B M

컨텐츠정보

목차

제1장(Chapter 1) 연구개발과제의 개요(Overview) = 17 

제2장(Chapter 2) 광학 측정장비 요소기술 개발(Development of advanced instruments for optical measurements) = 20 
제1절(Section 1) 대구경 비구면 평가기술 개발(Development of evaluation technology for large aspheric optics) = 20 
제2절(Section 2) 비등방성 시료 편광기반 나노측정 기술 개발(Ellipsometric metrology for anisotropic samples) = 53 
참고문헌(References) = 80 

제3장(Chapter 3) 하전입자 측정장비 요소기술 개발(Development of advanced instruments using charged particles) = 82 
제1절(Section 1) 전자광학 요소기술 개발(Development of key technologies for electron beam optics) = 82 
제2절(Section 2) 이온광학 요소기술 개발(Development of key technologies for ion optics) = 115 
제3절(Section 3) 나노자성 이미징기술 개발(Development of instrumentation for spin imaging and dynamics) = 132 
제4절(Section 4) 정밀 시편이동 요소기술 개발(Development of core technology for precise specimen movement) = 153 
참고문헌(References) = 165 

제4장(Chapter 4) 탐침 측정장비 요소기술 개발(Development of advanced instruments using intelligent probes) = 166 
제1절(Section 1) xAFM 개발(Development of cross-sectional AFM) = 166 
제2절(Section 2) 생분자 분광 미세검출 요소기술 개발(A)(Ultrasensitive Spectral Detection of Biomolecular Activity) = 186 
제3절(Section 3) 분광이미징 핵심요소기술 개발(Development of core technology for the scanner of SPM) = 195 
제4절(Section 4) 생분자 분광 미세검출 요소기술 개발(B)(Near-field measurments of bio-molecular acticity, luminescence, force) = 217 
참고문헌(References) = 226 

제5장(Chapter 5) 결론(Conclusions) = 228

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