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50nm급 나노 공정 해석 기술 개발

50nm급 나노 공정 해석 기술 개발 (Loan 2 times)

Material type
단행본
Personal Author
임세영 , 연구책임 엄윤용 , 연구
Corporate Author
한국과학기술원 , 주관연구
Title Statement
50nm급 나노 공정 해석 기술 개발 = Simulation and CAE for 50nm-scale nano manufacturing processes / [주관연구책임: 임세영] ; [연구원: 엄윤용 외] ; [주관연구기관]: 한국과학기술원.
Publication, Distribution, etc
서울 :   교육과학기술부 ,   2008.  
Physical Medium
100 p.. : 삽도 ; 30 cm.
General Note
2단계/3단계  
협동연구기관명: 서울대학교, KIMM  
협동연구책임자: 오수익, 김재현  
중사업명: 21C 프론티어연구개발사업  
세부사업명: 나노메카트로닉스기술개발사업(Nanoscale mechatronics and manufacturing)  
Bibliography, Etc. Note
참고문헌: p. 100
000 01255namccc200337 k 4500
001 000045450841
005 20100807122632
007 ta
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260 ▼a 서울 : ▼b 교육과학기술부 , ▼c 2008.
300 ▼a 100 p.. : ▼b 삽도 ; ▼c 30 cm.
500 ▼a 2단계/3단계
500 ▼a 협동연구기관명: 서울대학교, KIMM
500 ▼a 협동연구책임자: 오수익, 김재현
500 ▼a 중사업명: 21C 프론티어연구개발사업
500 ▼a 세부사업명: 나노메카트로닉스기술개발사업(Nanoscale mechatronics and manufacturing)
504 ▼a 참고문헌: p. 100
700 1 ▼a 임세영 , ▼e 연구책임
700 1 ▼a 엄윤용 , ▼e 연구
710 ▼a 한국과학기술원 , ▼e 주관연구
710 ▼a 한국 . ▼b 교육과학기술부
740 ▼a 21C 프론티어연구개발사업
740 ▼a 나노메카트로닉스기술개발사업
940 ▼a Nanoscale mechatronics and manufacturing
945 ▼a KINS

Holdings Information

No. Location Call Number Accession No. Availability Due Date Make a Reservation Service
No. 1 Location Science & Engineering Library/Sci-Info(Stacks1)/ Call Number 620.5 2008z6 2 Accession No. 121172834 Availability Available Due Date Make a Reservation Service B M

Contents information

Table of Contents

제1장 연구개발과제의 개요(Introduction) = 9
제2장 국내외 기술개발 현황(Technology development trend of domestic and foreign countries) = 13
제3장 연구개발수행 내용 및 결과(Research and development results) = 16
제4장 목표달성도 및 관련분야에의 기여도(Target achievement and contributions) = 84
제5장 연구개발결과의 활용계획(Utilization plan of research results) = 92
제6장 연구개발과정에서 수집한 해외과학기술정보(Foreign science and technology information) = 97
제7장 참고문헌(References) = 100

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