제1장 서론(Introduction) = 1
제2장 이론적 고찰(Theoretical Consideration) = 4
제1절 고체산화물 연료전지(Solid oxide fuel cell) = 4
1. 고체 산화물 연료전지의 원리(Principle of Solid oxide fuel cell) = 4
2. YSZ 고체 전해질의 특징(Characteristic of YSZ electrolyte) = 8
제2절 전자빔 이용 물리 증착(EB-PVD(Electron Beam Physical Vapor Deposition)) = 11
1. EB-PVD의 원리(Principle of EB-PVD) = 11
2. EB-PVD의 특성(Characteristic of EB-PVD) = 16
3. EB-PVD의 의한 핵형성과 성장(Nucreation and growth by EB-PVD) = 19
제3장 실험 방법(Experimental Method) = 20
제1절 SOFC 전해질 코팅을 위한 음극 기판 제조(Preparation of anode substrate for electrolyte coating) = 20
제2절 SOFC 전해질 제조를 위한 EB-PVD 코팅(YSZ electrolyte coating by EB-PVD) = 23
1. EB-PVD target 제조(Preparation of EB-PVD target) = 23
2. EB-PVD를 이용한 YSZ 전해질 제조(Preparation of YSZ electrolyte by EB-PVD) = 23
3. EB-PVD를 이용한 YSZ 전해질의 전기 전도도 측정(Measurement of electrical conductivity of YSZ electrolyte by EB-PVD) = 24
4. EB-PVD를 이용한 YSZ 전해질의 기체 투과도 측정(Measurement of gas permeability of YSZ electrolyte by EB-PVD) = 24
제3절 초음파 분무 열분해법을 이용한 분말 합성(Powder synthesis by ultrasonic spray pyrolysis) = 30
제4장 결과 및 토의(Results and Discussion) = 31
제1절 SOFC 전해질 코팅을 위한 음극 기판 제조(Preparation of anode substrate for electrolyte coating) = 31
제2절 SOFC 전해질 제조를 위한 EB-PVD 코팅(YSZ electrolyte coating by EB-PVD) = 35
1. 기판의 미세구조에 따른 YSZ 코팅 막의 영향(Effect of YSZ coating films by anode substrate microstructure) = 35
2. 기판의 온도 변화에 따른 YSZ 전해질 막의 미세구조 및 결정상 분석(Microstructures and phase analysis of YSZ coating films by substrate temperature variation) = 38
3. EB-PVD를 이용한 YSZ 전해질의 전기 전도도 측정(Measurement of electrical conductivity of YSZ electrolyte by EB-PVD) = 43
4. EB-PVD를 이용한 YSZ 전해질의 기체 투과도 측정(Measurement of gas permeability of YSZ electrolyte by EB-PVD) = 47
5. EB-PVD를 이용한 SOFC 단전지 제조 및 성능 평가(Preparation and properties of SOFC single-cell for EB-PVD) = 49
제3절 초음파 분무 열분해 장치(Ultrasonic spray pyrolysis) = 53
1. 초음파 분무 열분해 장치 제작 및 설치(Manufacture and Installation of ultrasonic spray pyrolysis) = 53
2. 초음파 분무 열분해 장치를 이용한 LaSrCoO₃ 분말 합성(LaSrCoO₃ powder synthesis by ultrasonic spray pyrolysis) = 55
제5장 결론(Conclusion) = 57
참고문헌(References) = 59
