| 000 | 00000nam c2200205 k 4500 | |
| 001 | 000045233032 | |
| 005 | 20230213170102 | |
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| 008 | 060221s2005 ggka bt 000a korBU | |
| 040 | ▼a 211009 ▼c 211009 ▼d 211009 | |
| 082 | 0 4 | ▼a 620.5 ▼2 22 |
| 088 | ▼a 02-K14-01-008-10 | |
| 090 | ▼a 620.5 ▼b 2005zg | |
| 245 | 0 0 | ▼a 나노 부품 조립 및 병렬 프로브 기술 = ▼x Development of core technology for mass producible assembling of nano components and parallel probe fabrication / ▼d 주관연구책임: 황규호 ; ▼e 주관연구기관: 엠투엔. |
| 260 | ▼a [과천] : ▼b 과학기술부, ▼c 2005. | |
| 300 | ▼a 125장 : ▼b 삽도 ; ▼c 30 cm. | |
| 500 | ▼a 중사업명: 21C 프론티어연구개발사업 | |
| 500 | ▼a 세부사업명: 나노메카트로닉스기술개발사업 | |
| 500 | ▼a 협동연구책임: 한창수 | |
| 500 | ▼a 협동연구기관: 한국기계연구원 | |
| 500 | ▼a 위탁연구책임: 성우경, 김재호 | |
| 500 | ▼a 위탁연구기관: 전자부품연구원, 아주대학교 | |
| 504 | ▼a 참고문헌: p. 124-125 | |
| 700 | 1 | ▼a 황규호, ▼e 연구책임 |
| 700 | 1 | ▼a 한창수, ▼e 협동연구책임 |
| 700 | 1 | ▼a 성우경, ▼e 위탁연구책임 |
| 700 | 1 | ▼a 김재호, ▼e 위탁연구책임 |
| 710 | ▼a 엠투엔, ▼e 주관연구 | |
| 710 | ▼a 한국기계연구원, ▼e 협동연구 ▼0 AUTH(211009)107412 | |
| 710 | ▼a 전자부품연구원, ▼e 위탁연구 ▼0 AUTH(211009)149551 | |
| 710 | ▼a 아주대학교, ▼e 위탁연구 | |
| 710 | ▼a 한국. ▼b 과학기술부 ▼0 AUTH(211009)148152 | |
| 740 | ▼a 21C 프론티어연구개발사업 | |
| 740 | ▼a 나노메카트로닉스기술개발사업 | |
| 945 | ▼a KINS |
Holdings Information
| No. | Location | Call Number | Accession No. | Availability | Due Date | Make a Reservation | Service |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| No. 1 | Location Science & Engineering Library/Sci-Info(Stacks1)/ | Call Number 620.5 2005zg | Accession No. 121109418 | Availability Available | Due Date | Make a Reservation | Service |
Contents information
Table of Contents
제1장 연구 개발의 개요 = 7
제1절 연구의 배경
제2절 연구 개발의 중요성
제2장 국내외 기술 개발 현황 = 10
제3장 연구 개발 결과 = 16
제3.1절 병렬프로브기술
3.1.1. 단위프로브설계
3.1.2. 단위공정개발
3.1.3. 공정 Integration
3.1.4. 공정 개선
3.1.5. (111)실리콘 웨이퍼를 이용한 고종횡비를 갖는 실리콘 팁 개발
3.1.6. 32×1 병렬 프로브 제작
3.1.7. 프로브 특성 평가
제3.2절 탄소 나노튜브의 수평조립 기술
3.2.1. 유전영동법의 원리와 기본 해석
3.2.2. 유전영동법을 이용한 전극상 CNT 조립
제3.3절 탄소나노튜브 수직 조립 기술
3.3.1. AFM팁 조립을 위한 이론적 해석
3.3.2. AFM팁 조립을 위한 실험
제3.4절 화학적 방법에 의한 탄소나노튜브 조립
3.4.1. 고체기질위에 DNA 고정화와 특성 평가
3.4.2. LB법과 자기조립단분자(SAM)법을 이용한 미세 패턴의 제조
3.4.3. Carbon nanotube(CNT) 절단, 정제 및 말단기 변조
3.4.4. 고체기질상에 CNT 수직 및 수평 배향
제3.5절 카본나노튜브 AFM팁의 최적측정
3.5.1. Research Objectives and Focus
3.5.2. Experimental setup
3.5.3. Attractive Non-contact Mode Imaging with CNT tips
3.5.4. Effect of CNT angle on High Resolution Imaging
3.5.5. Description of Divot Artifact
3.5.6. Description of Oscillation Artifact
3.5.7. Other application
3.5.8. Design and Usage Guidelines for CNT probes Operated in Attracted Mode Imaging
제4장 목표달성도 및 관련분야에의 기여도 = 118
제4.1절 1단계 목표 달성도
제4.2절 년도별 목표 달성도
제4.3절 기술 발전 기여도
제5장 연구개발결과의 활용계획 = 122
제5.1절 병렬 프로브 기술
제5.2절 AFM CNT tip 및 측정기술
제5.3절 CNT patterning 기술
제6장 참고문헌 = 124
