제1장 연구개발과제의 개요(Overview) = 9
제1절 배경 및 필요성(Background and Needs) = 9
1. 기술적 측면(Technical Viewpoint) = 9
2. 경제산업적 측면(Economic and Industrial Viewpoint) = 10
3. 사회문화적 측면(Social and Cultural Viewpoint) = 11
제2절 연구목표 및 범위(Research Goal and Scope) = 12
1. 연구목표(Research Goal) = 12
2. 세부연구목표 및 범위(Detailed Goal and Scopes) = 12
제2장 국내외 기술개발 현황(Research Trends) = 13
제3장 연구개발수행 내용 및 결과(Results and Discussions) = 15
제1절 입자빔-표면입자의 충돌제거 현상 해석(Analysis of the Particle-particle Collision Process) = 15
1. 개론(Overview) = 15
2. 분자동역학 해석기법(MD Analysis Technique) = 15
3. 입자의 부착현상 해석결과(Particle Adhesion) = 16
4. 나노 입자의 충돌에 의한 나노 입자의 제거(Particle Removal by Particle Impact) = 20
5. 결론(Conclusion) = 27
제2절 초음속 나노입자빔 생성(Generation of Supersonic Particle Beam) = 29
1. 개요(Overview) = 29
2. 입자 생성 및 성장 이론(Theories for Nucleation and Growth) = 29
3. 수치계산 방법(Numerical Techniques) = 35
4. 입자생성과정 해석 결과(Results) = 36
제3절 초음속 입자빔을 이용한 입자제거 실험(Particle Removal Experiments Using Particle Beam) = 44
1. 실험 장치(Experimental System) = 44
2. 실험 방법(Experimental Techniques) = 48
3. 초음속 노즐에서의 극저온 아르곤 입자빔을 이용한 입자 제거 특성(Cleaning Performance) = 50
제4절 고에너지 레이저 빔을 이용한 충격파 생성(Generation of Shock Waves Using Laser Beam) = 55
1. 레이저 유기 플라즈마의 팽창을 통한 충격파의 생성 원리 및 모델링(Principles and Modeling of Shock-wave by Laser-Induced Plasma Expansion) = 55
2. 레이저 유기 충격파 생성 조건(Conditions for the Shock-wave Generation) = 56
3. 레이저 직접 조사에 의한 세정력 발생(액막 보조 레이저 충격파 세정공정)(Particle Cleaning by a Direct Laser Induced Shock) = 57
4. 결론(Conclusion) = 58
제5절 충격파 유동장 해석(Analysis of the Shock Flow Field) = 59
1. 레이저 유기 충격파 측정 방법(Measurement of the Laser-Induced Shock-wave) = 59
2. 충격파 측정 및 근사 이론 해석 결과(Theoretical Analysis of the Shock Wave) = 61
3. 충격파 모델링 및 수치 해석(Modeling and Numerical Analysis of the Shock Wave) = 66
4. 결론(Conclusion) = 69
제6절 에너지 빔을 이용한 입자제거 실험 결과 및 모델링(Particle Cleaning Experiments with Energy Beam) = 70
1. 입자제거 실험 방법(Experimental Techniques) = 70
2. 레이저 유기 충격파를 이용한 입자 제거 실험 결과(Particle Cleaning Performance) = 70
3. 레이저 유기 충격파에 의한 입자 제거 모델링(Modeling of Particle Cleaning by Energy Beam) = 73
4. 액마 보조 레이저 충격파 세정공정의 입자 제거 실험 결과(LLSC 공정)(Performance of the New LLSC Process) = 77
5. 결론(Performance) = 80
제7절 실용화 가능성 및 방안(Future Plan for Practical use) = 81
1. 고레이저 빔을 이용한 세정 공정의 최적 조건 및 실용 가능성(Optimum Conditions for particle Cleaning) = 81
2. 레이저 충격파 세정(LSC) 및 액막 보조 세정 공정(LLSC)의 향후 연구 방향(Future Plan for the commercialization of LSC and LLSC Process) = 82
제4장 목표달성도 및 관련분야에의 기여도(Level of Achievements and Contributions) = 83
제1절 연구개발 목표의 달성도 및 자체평가(Self Evaluation on the Level of Achievements) = 83
1. 연구개발 목표의 달성도 및 자체평가(Self Evaluation on the Level of Achievements) = 83
2. 기술 수준 비교(Comparison of the Attained Technical Level) = 83
제2절 관련분야에의 기여도(Contribution to the Associated Community) = 84
제5장 연구개발결과의 활용계획(Means of Utilizing the Results) = 85
제1절 연구결과 활용실적 및 향후 활용계획(Future plan to Utilize the Results) = 85
제2절 기대효과(Expected Contribution) = 85
1. 기술적 측면(Technical) = 85
2. 경제·산업적 측면(Economic and Industrial) = 85
제6장 연구개발과정에서 수집한 해외과학기술정보(Scientific and Technical Informations Acquired Overseas through the Project) = 86
제7장 참고문헌(References) = 87
