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Sub-100nm 정밀도를 가지는 3차원 광조형 공정 개발 및 자유곡면 형상 제작기술 개발

Sub-100nm 정밀도를 가지는 3차원 광조형 공정 개발 및 자유곡면 형상 제작기술 개발

Material type
단행본
Personal Author
양동열 , 연구책임 공홍진 , 공동연구 박상후 , 연구
Corporate Author
한국과학기술원 , 주관연구
Title Statement
Sub-100nm 정밀도를 가지는 3차원 광조형 공정 개발 및 자유곡면 형상 제작기술 개발 = Development of three-dimensional nano-stereolithography process for the fabrication of nano/micro-devices with the resolution of sub-100 nm / 주관연구책임: 양동열 ; 공동연구: 공홍진 ; 연구원: 박상후 [외] ; 주관연구기관: 한국과학기술원.
Publication, Distribution, etc
[과천] :   과학기술부 ,   2005.  
Physical Medium
76장 : 삽도 ; 30 cm.
General Note
중사업명: 21C 프론티어연구개발사업  
세부사업명: 나노메카트로닉스기술개발사업  
Bibliography, Etc. Note
참고문헌: p. 71-76
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504 ▼a 참고문헌: p. 71-76
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740 ▼a 나노메카트로닉스기술개발사업
940 ▼a 21세기 프론티어연구개발사업
945 ▼a KINS

Holdings Information

No. Location Call Number Accession No. Availability Due Date Make a Reservation Service
No. 1 Location Science & Engineering Library/Sci-Info(Stacks1)/ Call Number 620.5 2005k Accession No. 121109802 Availability Available Due Date Make a Reservation Service B M

Contents information

Table of Contents

제1장 연구개발 과제의 개요(Introduction)
  1.1 연구배경(General considerations and motivations) = 11
  1.2 연구목적 및 범위(Objective and scope of the research) = 13
제2장 국내외 기술개발 동향(Historical Background)
  2.1 광 리소그래피 방식을 이용한 극미세 형상제작(Fabrication of microstructures using photo-lithography processes) = 15
  2.2 스탬핑 공정을 이용한 극미세 형상제작(Fabrication of microstructures using stamping processes) = 19
  2.3 스테레오리소그래피 방식에 의한 극미세 3차원 형상제작(Fabrication of 3D microstructures using nano-stereolithography process) = 23
제3장 연구개발 수행내용 및 결과(Results and Discussions)
  3.1 이광자 흡수 경화 메커니즘(Mechanism of two-photon polymerization) = 26
  3.2 나노 스테레오리소그래피 공정개발(Development of nano-stereolithography process) = 32
  3.3 나노 스테레오리소그래피 공정변수 연구(Study on the system parameters) = 43
  3.4 복잡한 3차원 형상제작 및 응용사례(Fabrication of complex 3D microstructures) = 59
  3.5 3차원 곡면제작을 위한 3D surfacing 공정개발(3D surfacing for various applications) = 63
제4장 목표달성도 및 관련분야에의 기여도(Achievements and Relations to Other Fields) = 68
제5장 연구개발결과의 활용계획(Plan on the Further Studies for Applications) = 70
제6장 참고문헌(References) = 71

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