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진공 표면 분석기술의 입문

진공 표면 분석기술의 입문 (Loan 79 times)

Material type
단행본
Personal Author
이명복 이정희
Title Statement
진공 표면 분석기술의 입문 = Vacuum & Surface / 이명복, 이정희 공저.
Publication, Distribution, etc
서울 :   斗陽社 ,   2003   (2008).  
Physical Medium
viii, 287 p. : 삽도 ; 25 cm.
ISBN
8975281051 9788975281051
Bibliography, Etc. Note
각 장별 참고문헌 및 권말 색인수록
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504 ▼a 각 장별 참고문헌 및 권말 색인수록
700 1 ▼a 이정희

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No. 1 Location Science & Engineering Library/Sci-Info(Stacks1)/ Call Number 620.44 2003 Accession No. 121088262 Availability In loan Due Date 2023-01-04 Make a Reservation Service M
No. 2 Location Science & Engineering Library/Sci-Info(Stacks1)/ Call Number 620.44 2003 Accession No. 121088263 Availability Available Due Date Make a Reservation Service B M
No. 3 Location Sejong Academic Information Center/Science & Technology/ Call Number 620.44 2003 Accession No. 151285610 Availability Available Due Date Make a Reservation Service B M
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No. 1 Location Sejong Academic Information Center/Science & Technology/ Call Number 620.44 2003 Accession No. 151285610 Availability Available Due Date Make a Reservation Service B M

Contents information

Author Introduction

이명복(지은이)

<진공 표면 분석기술의 입문>

Information Provided By: : Aladin

Table of Contents


목차
제1장 서론
 1-1 표면분석 및 처리기술의 중요성 = 11
 1-2 표면(Surface)의 정의 = 15
  (1) 최외각층 = 16
  (2) 실질적인 표면 = 16
  (3) 표면박막 = 16
 1-3 표면원자의 수와 민감도 = 16
 참고문헌 = 19
제2장 진공기술
 2-1 진공의 정의 및 분류 = 23
  (1) 저진공 영역 = 25
  (2) 중진공 영역 = 25
  (3) 고진공 영역 = 26
  (4) 초고진공 영역 = 26
  (5) 극고진공 영역 = 27
 2-2 개스 동역학(Kinetic Motion of Gases) = 28
  (1) 개스의 운동과 압력 = 28
  (2) 평균자유행로 및 투사율 = 31
  (3) 개스 배기계(Pumping system)의 배기생산량 = 33
 2-3 챔버 내 개스발생 원인과 개스들의 표면반응 = 37
  (1) 진공챔버 내 개스 발생원 = 39
  (2) 개스의 표면반응 - 흡착과 이탈 = 43
 2-4 진공펌프 = 47
  (1) 진공펌프의 분류 = 47
  (2) 로터리 펌프(Rotary pumps) = 50
  (3) 운동역학적 펌프(Kinetic Pumps) = 57
  (4) 개스포집방식 펌프(Gas entrapment Pumps) = 64
  (5) 진공펌프의 선택기준 = 76
 2-5 진공압력의 측정 = 77
  (1) 전체압력게이지(Total pressure gauges) = 78
  (2) 부분압력게이지(Partial pressure gauges) = 96
 2-6 진공재료와 부품들 = 101
  (1) 진공재료 및 부품의 요구조건 = 102
  (2) 일반적 진공재료들 = 103
  (3) 진공밀폐용 개스킷 재료들(Seals) = 106
  (4) 세라믹과 유리재료들(Ceramics and glasses) = 107
  (5) 펌프용 유체재료들(Pump fluids) = 108
  (6) 플랜지들(Flanges) = 110
 2-7 개스누출진단 및 조치법 = 115
  (1) 개스누출 진단방법 = 116
  (2) 누출검진기(Leak detectors) = 117
 2-8 진공계(Vacuum Systems) = 122
  (1) 단순 로터리펌프 진공계 = 122
  (2) 확산펌프 진공계 = 122
  (3) 터보펌프 진공계 = 122
  (4) 초고진공계 = 124
  (5) 크라이오펌프 진공계 = 125
  참고문헌 = 125
제3장 표면구조 분석기술
 3-1 표면과학과 표면구조 분석기술 = 129
 3-2 재료표면의 원자구조 = 131
  (1) 이상적인 표면구조의 생성과 표현법 = 131
  (2) 높은 차수 및 계단형 표면구조 = 139
  (3) 표면원자의 재편성(Reconstruction) = 140
  (4) 표면의 전자상태들과 일함수 = 143
  (5) 표면원자들의 진동 = 148
 3-3 가시적 표면구조 분석기술 = 150
  (1) 주사투과현미경(STM) = 151
  (2) 원자현미경(AFM) = 158
 3-4 비가시적 표면구조 분석기술 = 164
  (1) LEED(Low energy electron diffraction) = 164
  (2) RHEED(Reflection high energy electron diffraction) = 177
  참고문헌 = 186
제4장 표면의 화학적 조성 및 결합상태 분석기술
 4-1 분광분석기술(Spectroscopic Analysis Techniques) = 195
 4-2 전자분광법(Electron Spectroscopy) = 197
  (1) Auger 전자분광법(AES) = 203
  (2) X-선 전자분광법(XPS) = 219
  (3) 자외선 전자분광법(UPS) = 233
 4-3 진동분광법(Vibrational Spectroscopy) = 236
  (1) 적외선 분광법(IRS : Infrared Spectroscopy) = 239
  (2) 고분해능 전자에너지 손실분광법(HREELS) = 245
  (3) Raman 분광법(Raman Spectroscopy) = 249
 4-4 이온분광법(Ion Spectroscopy) = 252
 4-5 2차 이온질량분광법 = 259
  (1) 서론 = 259
  (2) SSIMS의 기본개념 = 260
  (3) SIMS 장치구성 및 특성 = 261
  (4) 금속 위에 흡착된 분자의 SIMS 분석 = 262
  참고문헌 = 264
찾아보기 = 271


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