목차
제1장 서론
1-1 표면분석 및 처리기술의 중요성 = 11
1-2 표면(Surface)의 정의 = 15
(1) 최외각층 = 16
(2) 실질적인 표면 = 16
(3) 표면박막 = 16
1-3 표면원자의 수와 민감도 = 16
참고문헌 = 19
제2장 진공기술
2-1 진공의 정의 및 분류 = 23
(1) 저진공 영역 = 25
(2) 중진공 영역 = 25
(3) 고진공 영역 = 26
(4) 초고진공 영역 = 26
(5) 극고진공 영역 = 27
2-2 개스 동역학(Kinetic Motion of Gases) = 28
(1) 개스의 운동과 압력 = 28
(2) 평균자유행로 및 투사율 = 31
(3) 개스 배기계(Pumping system)의 배기생산량 = 33
2-3 챔버 내 개스발생 원인과 개스들의 표면반응 = 37
(1) 진공챔버 내 개스 발생원 = 39
(2) 개스의 표면반응 - 흡착과 이탈 = 43
2-4 진공펌프 = 47
(1) 진공펌프의 분류 = 47
(2) 로터리 펌프(Rotary pumps) = 50
(3) 운동역학적 펌프(Kinetic Pumps) = 57
(4) 개스포집방식 펌프(Gas entrapment Pumps) = 64
(5) 진공펌프의 선택기준 = 76
2-5 진공압력의 측정 = 77
(1) 전체압력게이지(Total pressure gauges) = 78
(2) 부분압력게이지(Partial pressure gauges) = 96
2-6 진공재료와 부품들 = 101
(1) 진공재료 및 부품의 요구조건 = 102
(2) 일반적 진공재료들 = 103
(3) 진공밀폐용 개스킷 재료들(Seals) = 106
(4) 세라믹과 유리재료들(Ceramics and glasses) = 107
(5) 펌프용 유체재료들(Pump fluids) = 108
(6) 플랜지들(Flanges) = 110
2-7 개스누출진단 및 조치법 = 115
(1) 개스누출 진단방법 = 116
(2) 누출검진기(Leak detectors) = 117
2-8 진공계(Vacuum Systems) = 122
(1) 단순 로터리펌프 진공계 = 122
(2) 확산펌프 진공계 = 122
(3) 터보펌프 진공계 = 122
(4) 초고진공계 = 124
(5) 크라이오펌프 진공계 = 125
참고문헌 = 125
제3장 표면구조 분석기술
3-1 표면과학과 표면구조 분석기술 = 129
3-2 재료표면의 원자구조 = 131
(1) 이상적인 표면구조의 생성과 표현법 = 131
(2) 높은 차수 및 계단형 표면구조 = 139
(3) 표면원자의 재편성(Reconstruction) = 140
(4) 표면의 전자상태들과 일함수 = 143
(5) 표면원자들의 진동 = 148
3-3 가시적 표면구조 분석기술 = 150
(1) 주사투과현미경(STM) = 151
(2) 원자현미경(AFM) = 158
3-4 비가시적 표면구조 분석기술 = 164
(1) LEED(Low energy electron diffraction) = 164
(2) RHEED(Reflection high energy electron diffraction) = 177
참고문헌 = 186
제4장 표면의 화학적 조성 및 결합상태 분석기술
4-1 분광분석기술(Spectroscopic Analysis Techniques) = 195
4-2 전자분광법(Electron Spectroscopy) = 197
(1) Auger 전자분광법(AES) = 203
(2) X-선 전자분광법(XPS) = 219
(3) 자외선 전자분광법(UPS) = 233
4-3 진동분광법(Vibrational Spectroscopy) = 236
(1) 적외선 분광법(IRS : Infrared Spectroscopy) = 239
(2) 고분해능 전자에너지 손실분광법(HREELS) = 245
(3) Raman 분광법(Raman Spectroscopy) = 249
4-4 이온분광법(Ion Spectroscopy) = 252
4-5 2차 이온질량분광법 = 259
(1) 서론 = 259
(2) SSIMS의 기본개념 = 260
(3) SIMS 장치구성 및 특성 = 261
(4) 금속 위에 흡착된 분자의 SIMS 분석 = 262
참고문헌 = 264
찾아보기 = 271
